【1日目】11月7日(木)10:30~16:30
1.MEMSの使われ方
1-1. 概論
1-2. 自動車・スマートホンなどで使われる(量産)MEMS
1-3. IT機器、 バイオ・医療・健康などで使われる(量産・高付加価値)MEMS
1-4. インフラ・安全・環境、製造・検査などで使われる(高付加価値)MEMS
2. 基本プロセス
2-1. 基本プロセス1
(パターニング、エッチング)
2-2. 基本プロセス2
(堆積と応力制御、接合)
<質疑応答>
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