ALD技術の基礎を最先端半導体デバイスの応用事例を用いて、徹底的に解説!
※本セミナーはZOOMを使ったLIVE配信セミナーです。会場での参加はございません。
【アーカイブ配信:6/17~7/1(何度でも受講可能)】の視聴を希望される方は、こちらからお申し込み下さい。
1.薄膜形成技術
1.1 薄膜作製/加工の基礎
1.2 薄膜の評価手法
1.2.1 電気的評価
1.2.2 化学的分析手法
1.2.3 光学的評価手法
2.ALD/ALE技術の基礎
2.1 ALD技術の原理
2.2 ALD薄膜の特長
2.3 ALD技術の歴史
2.4 ALD装置の仕組み
2.5 ALD技術の材料
2.6 ALE技術の基礎
2.7 ALE技術の課題
3.ALD/ALE技術の応用
3.1 パワーデバイスへの応用
3.2 酸化物薄膜トランジスへの応用
3.3 MOS LSIへの応用
3.4 太陽電池への応用
4.ALD/ALE技術の将来
4.1 ALD/ALE技術の課題
4.2 ALD/ALE技術の展望