1.はじめに
2.クリーンルームの概要
・クリーンルームとは
・粒子の挙動と捕集理論
・エアフィルタの概要
・非一方向流と一方向流の違い(動画による比較)
・クリーンルームの指針や規格
・清浄度の決定・計算方法
3.クリーンルームの気流制御・局所化
・清浄度に影響を与える要因
・気流制御の要点(動画による解説)
・局所化の基本と実施例
4.クリーンルームの維持管理
・維持管理の概要
・室内発生源(作業者からの発塵など動画やデータで説明します)
・清浄度管理(衣服の管理、清掃方法、モニタリング時の注意事項など)
・特殊機器(イオナイザー)からの発塵と対策
5.クリーンルームあれこれ
・計画時の留意点
・回復試験とは(ISO14644-3)
・よくある失敗例
・ソリューション事例
(ワースポイントの推定、清浄度測定システム、リーク試験システムなど)
【質疑応答】