★光導波路の(感光性樹脂)材料設計、その微細加工方法について国内企業における従来材料を例に挙げ解説します!
※本セミナーはZoomを使ったLIVE配信セミナーです。アーカイブ配信はございません。
1.光インターコネクトにおける光導波路の役割
2.光導波路用感光性樹脂の材料設計
2-1.光導波路用材料に求められる物性と課題因子
2-2.光学特性の付与
・ 低損失(吸収損失、散乱損失)
・ 光閉じ込め性
2-3.耐熱特性の付与
・ 耐熱黄変
・ 黄変の抑制策
2-4.機械特性の付与
2-5.微細加工性の付与
3.ポリマー光導波路の作製方法
3-1.フォトリソグラフィー法
3-2.フォトブリーチング法
3-3.フォトアドレス法
3-4.RIE法
4.国内各社における光導波路材料の設計例